愛媛大学電子物性デバイス工学講座半導体工学分野

白方研究室

Epitaxial Growth Apparatus

MBE for chalcopyrite（ULVAC model 508)

MBE for III-V（Anelva)

MOMBE for GaN (home made)

MOMBE for ZnO (home made)

LPE for III-V (Euro Therm)

Cloirode VPE (ZnO)