主な実験装置
電極用成膜装置
多結晶薄膜成長装置
エピタキシャル成長装置
電気炉
光学評価装置
レーザ装置
分光器
信号処理装置
光検出器
クライオスタット パワーメータ
レーザ高速変調器
走査型電子顕微鏡
Ｘ線回折装置 Phillips 社製 ＰＷ1800型 その他